ItuVerteq1078234.5.1 1069347.3 adalah sistem transformator pencocokan impedansi RF frekuensi tinggi yang dirancang untuk aplikasi pembersihan megasonik khusus dalam manufaktur semikonduktor. Sistem ini berfungsi sebagai jaringan penyeimbang pasif inline yang ditempatkan di antara generator akustik frekuensi tinggi pusat dan susunan transduser piezoelektrik yang dipasang pada kuarsa. Dengan mencocokkan karakteristik beban listrik secara dinamis dan menghilangkan impedansi reaktif, modul ini memastikan konversi daya maju maksimum, mempertahankan distribusi gelombang akustik yang seragam di seluruh tangki fluida pemrosesan, dan melindungi penggerak elektronik yang kompleks dari energi gelombang pantulan yang berbahaya.

Tingkat Impedansi Utama:

50 Ω (Ohm)

Spektrum Frekuensi Resonansi:

830 kHz hingga 870 kHz

Lingkungan Sekitar Operasional:

15°C hingga +40°C

Tegangan RF Maksimum (V_RMS):

Tegangan RMS 150V hingga 300V

Kapasitas Arus RF (I_RMS):

3A hingga 8A RMS

Kesamaan Gelombang Akustik:Mengoptimalkan penyampaian energi akustik untuk mencegah "titik panas" atau zona mati lokal di dalam tangki cairan kimia, memastikan pembersihan yang seragam di seluruh permukaan substrat.

Penekanan Energi yang Dipantulkan:Secara efektif mengurangi rasio gelombang berdiri tegangan (VSWR) mendekati 1:1, mencegah energi yang kembali berubah menjadi panas yang merusak di dalam generator RF hulu.

Pencegahan Kerusakan Wafer:Menstabilkan ambang batas kavitasi frekuensi tinggi untuk menghilangkan partikel organik sub-mikron dengan aman tanpa merusak fitur wafer yang halus dan memiliki rasio aspek tinggi.

Casing Tahan Korosi:Dikapsulasi dalam material dengan kemurnian tinggi dan inert secara kimiawi yang kompatibel dengan lingkungan kimia meja basah ruang bersih yang keras.