ItuPall GLFPF3000VMF4Ini adalah rakitan filter gas in-line dengan kemurnian sangat tinggi yang dirancang khusus untuk filtrasi titik penggunaan pada jalur gas proses semikonduktor dan mikroelektronik. Fitur utamanya adalah wadah baja tahan karat 316L yang dipoles secara elektrolitik dengan lapisan permukaan internal yang superior untuk mencegah pelepasan partikel. Di dalamnya, terdapat elemen filtrasi berbahan fluoropolimer yang menawarkan kompatibilitas kimia luar biasa dengan gas inert, beracun, dan gas khusus yang sangat korosif.

kamu Spesifikasi Listrik: 0 A / 0 V

kamu Tekanan Operasi Maksimum: 20,7 MPa pada 121 °C

kamu Suhu Operasi Maksimum: 121 °C (250 °F)

kamu Profil Pelepasan Gas:

kamu Sambungan Fitting: 1/4" VCR (Segel Gasket)

❖ Fabrikasi Wafer Semikonduktor: Dipasang langsung di titik penggunaan (POU) tempat jatuhnya alat untuk menghilangkan kontaminasi partikel sub-mikron dari gas proses deposisi, etsa, dan fotolitografi yang penting.

❖ Kabinet Gas Kemurnian Ultra Tinggi (UHP): Terintegrasi dalam manifold pengiriman gas massal, panel pembersihan, dan kabinet gas yang menangani gas yang sangat reaktif, korosif, atau beracun.

❖ Isolasi Instrumen Ruang Bersih: Melindungi pengontrol aliran massa (MFC) dengan toleransi halus, regulator tekanan, dan instrumen pendeteksi partikel analitik dari serpihan partikulat di bagian hulu.

FS-TSDO-04UNI

F2DO1602

NFBU200-S05 S2

9907-018

FS-IOBUS-CPIO

F8650X

NFCCC01

5438-667

FC-QPP-0001 V1.3

HIMAX X-CPU01

AAI135-H00 S1

5462-916

FC-USI-0001 V1.3

F60CPU03

CP401-10 S1

5464-211

FS-TSGAS-1624

F3 AIO 84 01

NFBU200-S05 S2

5464-334

FS-IOBUS-CPIO

Z7126

NFCP100-S05 S3

5501-380

51305072-600

HIMatrix F35 011 30

PW482-51 S2

8400-016

51196041-100

HIMatrix F35 010 30

ADV551-P50 S2

5437-672